1、無刷電機驅動。

2、氮氣溫度控制。

3、轉軸氮氣密封。

4、可提用戶特殊要求配置。

5、去離子水電阻率監(jiān)控功能。

6、故障診斷、顯示、報警功能。

7、硅片甩干機具有鎖蓋防護功能。

8、腔體和轉架采用316不銹鋼，電化學拋光處理。

9、彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控，可存儲多種工藝菜單。

10、硅片甩干機主要應用于太陽能電池和半導體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié)，具有容量大、效率高的特點。